В России создают первую 8-модульную кластерную установку для магнетронного нанесения слоёв алюминиевой металлизации
habr.comНаучно‑исследовательские институты НИИТМ и НИИМЭ начали разработку первой в России кластерной установки из восьми модулей для нанесения слоёв алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления.
Оба института входят в Группу компаний (ГК) «Элемент». Оборудование позволит выпускать интегральные микросхемы с размером элементов от 180 до 90 нанометров на пластинах диаметром 200 миллиметров.Как отмечают в ГК «Элемент», главное преимущество установки представляет собой конфигурация транспортной системы.
