Фотолитография: как создают современные микрочипы на самой сложной машине в мире
Появление в начале 21 века технологий глубокой (DUV) и экстремальной ультрафиолетовой фотолитографии (EUV) и разработку специальных машин на базе этих технологий можно считать революционным.
Это как сравнить с эффектом появления типографского станка Гутенберга в середине 15-го века. Вся электроника, которой мы пользуемся ежедневно, управляется микросхемами с миллиардами транзисторов.
itc.ua