ФИАН представил модернизированный советский нанолитограф для рентгеновской оптики
Учёные Физического института им. П. Н. Лебедева (ФИАН) модернизировали электронный нанолитограф. Устройство используется для производства компонентов рентгеновской и дифракционной оптики.
Об этом рассказал член‑корреспондент РАН Андрей Наумов. Базой стал электронный нанолитограф ZBA. Его разработали в 1980–1990-х годах в странах СЭВ.
habr.com