Неровная поверхность электродов из рутения улучшает свойства резистивной памяти
Сотрудники группы атомно-слоевого осаждения Московского физико-технического института вместе с коллегами из Кореи изучили влияние дефектов поверхности одного из электродов на свойства ячейки резистивной памяти.
Оказалось, что при увеличении толщины электрода шероховатость его поверхности резко возрастает, а параметры ячейки памяти заметно улучшаются.