Японские учёные могут создавать вольфрамовые плёнки на кристаллах без ограничений
runews24.ruРешена проблема возникновения физического напряжения в слоях металла на кристаллах кремния при разработке микросхем.Портал EurekAlert рассказал об изобретении учёных Японии, которые решили проблему возникновения физического напряжения в слоях вольфрама на кристаллах кремния при разработке микросхем.
Напряжение можно снимать, если нагреть металл до определённых температур, но есть нюансы. Температуры нужны слишком высокие, когда применяются тугоплавкие металлы.