В РФ начали разработку отечественных литографических сканеров для производства микросхем
newsland.comВ конце прошлого года Минпромторг выделил 5,7 млрд рублей на разработку отечественных литографических сканеров. На днях стало известно, что Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) приступил к проектным работам по этому заказу.
Подробно о планах центра по проекту ресурсу zelenograd.ru генеральный директор ЗНТЦ Анатолий Ковалёв. Центр заключил с Минпромторгом два контракта: один на разработку сканеров с уровнем топологии до 350 нм, второй — до 130 нм (в интервью говорится о степперах, хотя это старое название сканеров, когда фотомаски механически сдвигались для проекции на новый участок кремниевой подложки).