ASML подняла мощность EUV-лазера на 67% и обещает на 50% больше чипов к 2030 году
habr.comИсследователи ASML продемонстрировали EUV-источник света мощностью 1000 Вт — на 67% больше нынешних 600 Вт. По словам компании, это позволит выпускать до 330 кремниевых пластин в час на одной машине вместо сегодняшних 220, а значит — удешевить производство передовых чипов без строительства новых фабрик.Ключевое усовершенствование — в самой сложной части машины, генераторе EUV-света.
Литограф ASML выстреливает поток расплавленных капель олова через камеру, где мощный CO₂-лазер нагревает их до состояния плазмы — вещество раскаляется сильнее поверхности Солнца и испускает свет с длиной волны 13,5 нм.
